該設(shè)備中的功放模塊產(chǎn)生高頻電壓、電流，將常規(guī)使用的208V電壓和頻率50/60HZ轉(zhuǎn)換為可變的13.56MHZ電壓電流。

（一）半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體芯片的刻蝕、沉積、離子注入等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，SRF3000憑借其精準的頻率和功率控制、高效的集成匹配以及穩(wěn)定的性能，為芯片制造提供穩(wěn)定可靠的等離子體電源解決方案，助力提升芯片制造的精度和良品率。

（二）平板顯示生產(chǎn)

在平板顯示面板的制造過程中，如 TFT - LCD、OLED 等工藝，SRF3000可滿足不同工藝階段對射頻電源的需求，確保薄膜沉積均勻、刻蝕精準，提升面板的顯示質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

（三）光伏產(chǎn)業(yè)

在光伏電池的生產(chǎn)中，無論是硅片的刻蝕、薄膜的沉積還是電池的鈍化等工藝，SRF3000都能以其卓越的性能為光伏電池的生產(chǎn)提供穩(wěn)定的能量供應(yīng)，助力提高光伏電池的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)質(zhì)量。

（一）精準頻率控制

• 穩(wěn)定基準頻率：具備 13.56 MHz±.005% 的精準頻率輸出，為等離子體工藝提供穩(wěn)定可靠的基礎(chǔ)條件，確保每一次工藝過程的一致性。

• 靈活頻率調(diào)諧：支持頻率調(diào)諧范圍為±5%，可根據(jù)不同工藝需求進行靈活調(diào)整，無論是精細的刻蝕工藝還是均勻的沉積過程，都能精準適配。

（二）卓越功率性能

• 寬功率調(diào)節(jié)范圍：功率覆蓋30W - 3000W，滿足從實驗室研發(fā)到大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的多樣化功率需求。

• 高精度功率調(diào)節(jié)：功率可調(diào)精度達到 0.1 瓦，實現(xiàn)對功率的精細控制，保證工藝過程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

• 雙級脈沖功能：支持雙級脈沖功能，可靈活設(shè)置脈沖的頻率、占空比等參數(shù)，滿足不同工藝對脈沖特性的嚴格要求，為復(fù)雜工藝提供更多可能性。

（三）高效集成匹配

• 一體化架構(gòu)：采用一體化集成匹配架構(gòu)，實現(xiàn)亞毫秒級快速動態(tài)響應(yīng)能力。在負載阻抗發(fā)生變化時，能迅速做出調(diào)整，確保射頻能量高效傳輸，減少能量損耗。

• 全數(shù)字控制：運用全數(shù)字控制技術(shù)，通過高精度 ADC 實時采集反射功率、正向功率等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，由數(shù)字信號處理器（DSP）進行快速運算與控制，提升匹配精度和系統(tǒng)穩(wěn)定性。

（四）便捷控制方式

• 豐富通信接口：配備RS - 232、用戶端口、以太網(wǎng)等接口，方便與其他設(shè)備進行通信和集成控制。無論是本地操作還是遠程監(jiān)控，都能輕松實現(xiàn)，滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)的智能化管理需求。

• 遠程操作功能：可實現(xiàn)遠程監(jiān)控、參數(shù)設(shè)置和數(shù)據(jù)傳輸?shù)裙δ?，讓您坐在辦公室就能對生產(chǎn)線上的設(shè)備進行實時管理和調(diào)整，提高生產(chǎn)效率。

（五）全方位保護機制

• 多重保護功能：擁有完善的過流保護、過壓保護、過熱保護等機制，在設(shè)備運行出現(xiàn)異常情況時，能迅速啟動保護措施，有效保護設(shè)備不受損壞，確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。

（六）同步運行保障

• 相位同步功能：具有相位同步功能，可實現(xiàn)多個系統(tǒng)在集群配置中的同步運行，確保工藝的一致性和穩(wěn)定性，尤其適用于大規(guī)模生產(chǎn)場景下對工藝精度的嚴格要求。

（七）先進弧管理

• 高效電弧處理：先進的弧管理功能，能夠快速檢測和處理等離子體中的電弧現(xiàn)象，減少電弧對工藝的影響，提高工藝的重復(fù)性和產(chǎn)品質(zhì)量，降低次品率。

（八）友好操作界面

• 兼容操作體驗：完全兼容AE VFP，支持中英文界面，無論是國內(nèi)還是國外的操作人員，都能輕松上手，減少操作培訓(xùn)成本，提高工作效率。