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新品推出！財盈ARES_1008L遠程等離子體源介紹
Ares_1008L是一種基于鐵氧體磁芯的等離子體源，配備可變頻率電源。
其主要特點有：
高功率穩(wěn)定輸出：提供穩(wěn)定的等離子體源，確保處理效果一致
遠程控制：支持遠程操作和監(jiān)控，可通過軟件實時查看運行參數(shù)
多種氣體兼容性：能夠處理多種氣體，適應(yīng)不同工藝需求
緊湊設(shè)計：設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，便于現(xiàn)場安裝和維護
安全保護功能：內(nèi)置多種安全保護機制，確保設(shè)備和操作人員安全
01
尺寸外形
02
工作原理
通過將氣體輸送到裝置中，利用電場或者磁場在真空環(huán)境下反應(yīng)產(chǎn)生等離子體，然后將等離子體傳輸?shù)叫枰幚淼谋砻鎱^(qū)域，用于周期性清潔、薄膜和涂層沉積的主處理室。
Ares_1008L設(shè)備由三相208VAC, 50～60Hz電源驅(qū)動，兼容輸入電源連接的任意相位旋轉(zhuǎn)。采用水冷和風冷設(shè)計，以確?？煽亢头€(wěn)定的操作。中頻驅(qū)動鐵氧體等離子體源。電源通過固態(tài)匹配裝置直接耦合到等離子體腔的主繞組上。繞組中的電流在鐵氧體磁心和等離子體腔內(nèi)部分別誘導(dǎo)出受限的磁通量和感應(yīng)等離子體。腔體表面 (材料) 與多種氣體和化學(xué)物質(zhì)兼容。
03
工作框圖
04
連接方式
05
模擬接口定義
模擬端口引腳圖如下：
06
安裝說明
環(huán)境溫度：0°C - 40°C
濕度：<90% 無冷凝
通風：確保有良好的空氣流通
將設(shè)備放置在平穩(wěn)的工作臺上
連接電源線至規(guī)范電源插座，確保電源電壓符合設(shè)備要求
根據(jù)設(shè)備說明書連接氣體管路，確保無泄漏
利用配件固定裝置將設(shè)備固定在合適位置
07
ISP顯示
開機顯示圖
狀態(tài)顯示圖
08
操作步驟
檢查所有連接是否正常，確保氣體和電源連接無異常 打開設(shè)備電源開關(guān) 根據(jù)需求設(shè)置工作參數(shù)，如功率、頻率和氣體流量
關(guān)閉設(shè)備：
完成操作后，先關(guān)閉工作氣體源
按下“停止”按鈕，關(guān)閉等離子源 最后切斷電源開關(guān)
09
技術(shù)參數(shù)
10
維護與保養(yǎng)
定期檢查氣體管路，確保無漏氣現(xiàn)象
每月清潔設(shè)備外殼及冷卻風扇，確保設(shè)備散熱良好
檢查電源線和接口，確保無老化或損壞現(xiàn)象
建議每季度進行一次全面的性能檢測
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