射頻電源校準系統(tǒng)包含射頻負載、功率傳感器、功率計。

射頻負載（Dummy Load）是一種用于模擬電路或系統(tǒng)負載的設(shè)備，通常用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中等離子體應(yīng)用的RF功率調(diào)節(jié)控制和性能測試。

使被測試設(shè)備在無實際負載情況下仍能正常工作，讓射頻功率安全消散，并模擬負載狀態(tài)下的電壓、電流、功率等參數(shù)。

射頻傳感器 (RF Sensor)用于準確測量功率參數(shù)，以標準阻抗(50Ω)的低插損通過式功率傳感器串聯(lián)進入系統(tǒng)。

寬頻段(標定范圍內(nèi)3%讀數(shù)誤差）

4024(1.5~32MHz/3~10000W)

窄頻段(標定范圍內(nèi)1%讀數(shù)誤差）

4027系列（小功率）

4027A2M (1.5~2.5MHz/ 3~10000W)

4027A10M (10~15MHz/ 3~10000W)

4027A25M (25~30MHz/ 3~9000W)

4027A35M (35~45MHz/ 3~7500W)

4027A60M (45~65MHz/ 3~6000W)

4028系列（大功率）

4028B10M (10~15MHz/ 1000~25000W)

4028C10M (10~15MHz/ 500~50000W)

功率計(Power Meter)是一種應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的高精度測量功率計，配合傳感器使用能夠直觀讀取高達1%誤差等級的功率參數(shù)，以便實時監(jiān)控射頻傳輸狀況。

4421A是原4421的升級替換型號,在原產(chǎn)品的基礎(chǔ)上增強了準確性及便攜性,部分型號支持雙通道測量。

量測頻率范圍：100K~1GHz

量測功率范圍：100m~50KW

頻率：DC-600MHz

額定功率：5KW連續(xù)功率

環(huán)境溫度：-40℃至45℃

冷卻方式：油冷

連接器：LF70轉(zhuǎn)16/7接頭

體積：712(長) x220(寬) x921(高) mm

頻率：DC–1GHz

額定功率：10KW連續(xù)功率

環(huán)境溫度：-40℃至45℃

冷卻方式：油冷

連接器：LF70轉(zhuǎn)7/16接頭

體積：712(長) x220(寬) x921(高) mm

校準系統(tǒng)由射頻電纜 (RF Cable)相互連接，須注意不同電纜的耐壓范圍，必須使用阻抗值為50Ω的電纜。不可任意更改電纜長度，否則會導(dǎo)致功率損耗。

射頻電纜結(jié)構(gòu)圖

射頻連接器接頭按照使用環(huán)境和工作頻率分為N、F、HN、7/16等類型。

客戶B在我司采購的射頻電源測試平臺配置

1、產(chǎn)品良率提高—提升腔體射頻功率一致性

因每臺射頻電源輸出功率線性略有差異，加上同軸電纜損耗也有些許差異，使用射頻電源系統(tǒng)校準系統(tǒng)，將可射頻電源輸出及同軸電纜差異校準為一致，確?？蛻粼O(shè)備射頻功率輸入腔體一致性。

2、產(chǎn)品產(chǎn)能提高—預(yù)防宕機停產(chǎn)

使用射頻電源校準系統(tǒng)校準射頻電源時，可檢測出射頻電源相關(guān)參數(shù)（輸出功率、電流等），確認射頻電源的狀態(tài)，當(dāng)參數(shù)與之前量測數(shù)據(jù)差異過大時，可即時送修減少因射頻電源損壞導(dǎo)致客戶機臺宕機造成生產(chǎn)損失。

3、故障問題點排查—問題響應(yīng)迅速

當(dāng)故障點無法確定時，使用射頻電源校準系統(tǒng)，可排查出射頻電源、匹配器、腔體或同軸電纜導(dǎo)致問題，縮短客戶排查時間。

4、備機替換—有備無患

備用射頻電源校準系統(tǒng)可在設(shè)備故障維修或日常維護時替代使用，是連續(xù)生產(chǎn)、穩(wěn)定生產(chǎn)的重要保障。

1、使用校準儀器對測試設(shè)備進行校準來確保準確性和可靠性。如果使用頻譜儀等分析器進行測試，則需要對分析器進行頻率校準和水平校準。

2、將 Dummy load 接入測試設(shè)備的輸出端，并確認 Dummy load 的輸出口連接正確。如果連接異常，則可能會導(dǎo)致誤測或損壞測試設(shè)備。

3、使用功率計等測試儀器進行測量，并記錄測試結(jié)果。在測量過程中，還需要注意測試設(shè)備的工作電流和電壓等參數(shù)。

4、根據(jù)測試要求，可以使用負載測試儀器對特定參數(shù)進行測量，如伏安表等