Ares_1008L是一種基于鐵氧體磁芯的等離子體源，配備可變頻率電源。Ares_1008L的工作原理是通過將氣體輸送到裝置中，利用電場或者磁場在真空環(huán)境下反應產(chǎn)生等離子體，然后將等離子體傳輸?shù)叫枰幚淼谋砻鎱^(qū)域，用于周期性清潔、薄膜和涂層沉積的主處理室。其主要特點有：
1、高功率穩(wěn)定輸出：提供穩(wěn)定的等離子體源，確保處理效果一致
2、遠程控制：支持遠程操作和監(jiān)控，可通過軟件實時查看運行參數(shù)
3、多種氣體兼容性：能夠處理多種氣體，適應不同工藝需求
4、緊湊設計：設備結(jié)構(gòu)緊湊，便于現(xiàn)場安裝和維護
5、安全保護功能：內(nèi)置多種安全保護機制，確保設備和操作人員安全