財(cái)盈國產(chǎn)替代產(chǎn)品 —— 遠(yuǎn)程等離子體源 RPS 8L

ARES_1008L 

Ares_1008L是一種基于鐵氧體磁芯的等離子體源，配備可變頻電源。

產(chǎn)品特點(diǎn)  

· 高功率穩(wěn)定輸出：提供穩(wěn)定的等離子體源，確保處理效果一致。

· 遠(yuǎn)程控制：支持遠(yuǎn)程操作和監(jiān)控，可通過軟件實(shí)時(shí)查看運(yùn)行參數(shù)。

· 多種氣體兼容性：能夠處理多種氣體，適應(yīng)不同工藝需求。

· 緊湊設(shè)計(jì)：設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，便于現(xiàn)場(chǎng)安裝和維護(hù)。

·安全保護(hù)功能：內(nèi)置多種安全保護(hù)機(jī)制，確保設(shè)備和操作人員安全。

 工作原理 

通過將氣體輸送到裝置中，利用電場(chǎng)或者磁場(chǎng)在真空環(huán)境下反應(yīng)產(chǎn)生等離子體，然后將等離子體傳輸?shù)叫枰幚淼谋砻鎱^(qū)域，用于周期清潔，薄膜和涂層沉積的主處理室。

Ares_1008L設(shè)備由三相280VAC，50~60Hz電源驅(qū)動(dòng)，兼容輸入電源連接的任意相位旋轉(zhuǎn)。采用水冷和風(fēng)冷設(shè)計(jì)，以確?？煽亢头€(wěn)定的操作。中頻驅(qū)動(dòng)鐵氧體等離子體源，電源通過固態(tài)匹配裝置直接耦合到等離子體腔的主繞組上。繞組中的電流在鐵氧體磁芯和等離子體腔內(nèi)部分別誘導(dǎo)出受阻的磁通量和感應(yīng)等離子體。腔體表面（材料）與多種氣體和化學(xué)物質(zhì)兼容。

模擬接口定義

模擬遠(yuǎn)程接口為Ares_1008l提供基礎(chǔ)、快速的遠(yuǎn)程控制選項(xiàng)。該接口為DB25。在模擬接口狀態(tài)下，所有輸入和輸出使用與機(jī)殼接地隔離的差分信號(hào)。模擬接口將持續(xù)在其輸出引腳上提供狀態(tài)信息。可以通過計(jì)算機(jī)控制通過模擬遠(yuǎn)程接口運(yùn)行自動(dòng)化過程。

 技術(shù)參數(shù)